Резултати

еНаука >  Резултати >  Development of optical computerized tomography in capacitively coupled plasmas and inductively coupled plasmas for plasma etching
Назив: Development of optical computerized tomography in capacitively coupled plasmas and inductively coupled plasmas for plasma etching
Аутори: Makabe, Toshiaki; Petrovic, Zoran Lj  
Година: 2002
Публикација: APPLIED SURFACE SCIENCE
ISSN: 0169-4332 Applied Surface Science Претражи идентификатор
Тип резултата: Научни чланак
Колација: vol. 192 br. 1-4 str. 88-114
DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00022-3
WoS-ID: 000177240000006
Scopus-ID: 2-s2.0-0037198332
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/807619
Извор метаподатака: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
М-категорија: 
21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21

69
SCOPUSTM
55
OpenCitations
65
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.