Резултати

eNauka >  Rezultati >  Development of optical computerized tomography in capacitively coupled plasmas and inductively coupled plasmas for plasma etching
Naziv: Development of optical computerized tomography in capacitively coupled plasmas and inductively coupled plasmas for plasma etching
Autori: Makabe, Toshiaki; Petrovic, Zoran Lj  
Godina: 2002
Publikacija: APPLIED SURFACE SCIENCE
ISSN: 0169-4332 Applied Surface Science Pretraži identifikator
Tip rezultata: Naučni članak
Kolacija: vol. 192 br. 1-4 str. 88-114
DOI: 10.1016/S0169-4332(02)00022-3
WoS-ID: 000177240000006
Scopus-ID: 2-s2.0-0037198332
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/807619
Izvor metapodataka: (Preuzeto iz Nasi u WoS)
M-kategorija: 
21M21 - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21

69
SCOPUSTM
55
OpenCitations
65
WEB OF SCIENCETM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.