Резултати
Назив : | Plasma electronics - applications in microelectronic device fabrication | Аутори: | Makabe, Toshiaki; Petrović, Zoran Lj. |
Година: | 2006 | Издавач: | New York : Taylor & Francis | Тип резултата: | Остало | ISBN: | 0-7503-0976-8 Претражи идентификатор |
Колација: | str. 339 str. | VBS COBISS: | 566850 | URI: | https://plus.cobiss.net/cobiss/sr/sr/bib/566850#izum.si https://enauka.gov.rs/handle/123456789/986453 |
М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.