Резултати

еНаука >  Резултати >  Plasma electronics - applications in microelectronic device fabrication
Назив Plasma electronics - applications in microelectronic device fabrication
Аутори: Makabe, Toshiaki; Petrović, Zoran Lj.  
Година: 2006
Издавач: New York : Taylor & Francis
Тип резултата: Остало
ISBN: 0-7503-0976-8 Претражи идентификатор
Колација: str. 339 str.
VBS COBISS: 566850
URI: https://plus.cobiss.net/cobiss/sr/sr/bib/566850#izum.si
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/986453
М-категорија: 
Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI


Google ScholarTM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.