Резултати
еНаука >
Резултати >
Role of Atomic Oxygen in High Quality SiOx Thin Film Deposition: Exploring New Chemical Pathways for Polymerization and Surface Treatment
| Назив: | Role of Atomic Oxygen in High Quality SiOx Thin Film Deposition: Exploring New Chemical Pathways for Polymerization and Surface Treatment | Аутори: | Stefanović, Ilija |
Година: | 2025 | Публикација: | Program and the Book of abstracts / Serbian Ceramic Society Conference Advanced Ceramics and Application XIII New Frontiers in Multifunctional Material Science and Processing, Serbia, Belgrade, 8-10th September 2025 | Издавач: | Belgrade : Serbian Ceramic Society | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-86-905714-2-0 Претражи идентификатор |
Колација: | str. 66-66 | URI: | https://dais.sanu.ac.rs/123456789/18596 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/1019093 |
Пројекат: | Ministarstvo nauke, tehnološkog razvoja i inovacija Republike Srbije, institucionalno finansiranje - 200175 (Institut tehničkih nauka SANU, Beograd) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |