Резултати
еНаука >
Резултати >
Investigation of silicon anisotropic etching in alkaline solutions with propanol addition
Назив: | Investigation of silicon anisotropic etching in alkaline solutions with propanol addition | Аутори: | Jović, Vesna; Lamovec, Jelena ; Popović, Mirjana | Година: | 2008 | Публикација: | 26th International Conference on Microelectronics, Vols 1 and 2, Proceedings | ISSN: | 2159-1660 Претражи идентификатор | Издавач: | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 355-358 | DOI: | 10.1109/ICMEL.2008.4559295 | WoS-ID: | 000257432600073 | Scopus-ID: | 2-s2.0-51749098774 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/423 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/134400 |
М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.