Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Investigation of silicon anisotropic etching in alkaline solutions with propanol addition
| Naziv: | Investigation of silicon anisotropic etching in alkaline solutions with propanol addition | Autori: | Jović, Vesna; Lamovec, Jelena |
Godina: | 2008 | Publikacija: | 26th International Conference on Microelectronics, Vols 1 and 2, Proceedings | ISSN: | 2159-1660![]() Pretraži identifikator |
Izdavač: | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. 355-358 | DOI: | 10.1109/ICMEL.2008.4559295 | WoS-ID: | 000257432600073 | Scopus-ID: | 2-s2.0-51749098774 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/423 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/134400 |
M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.
