Резултати

еНаука >  Резултати >  Characterisation of a large scale RF CCP reactor using derivative probes
Назив: Characterisation of a large scale RF CCP reactor using derivative probes
Аутори: Lazović, Saša  ; Malović, Gordana  ; Petrović, Zoran  ; Puač, Nevena  ; Spasić, Kosta  
Година: 2011
Публикација: 2nd International workshop on plasma nano-interfaces and plasma characterization
Издавач: Cerklje, Slovenia
Тип резултата: Конференцијски рад
Колација: str. 53-53
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/178438
Извор метаподатака: Migrirano iz RIS podataka
М-категорија: 
Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI


Google ScholarTM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.