Резултати
Назив: | Characterisation of a large scale RF CCP reactor using derivative probes | Аутори: | Lazović, Saša ; Malović, Gordana ; Petrović, Zoran ; Puač, Nevena ; Spasić, Kosta | Година: | 2011 | Публикација: | 2nd International workshop on plasma nano-interfaces and plasma characterization | Издавач: | Cerklje, Slovenia | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 53-53 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/178438 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.