Резултати

еНаука >  Резултати >  Uticaj strukture višeslojnih tankih filmova nikla i bakra na njihova mehanička svojstva i primenu u izradi MEMS naprava
Назив: Uticaj strukture višeslojnih tankih filmova nikla i bakra na njihova mehanička svojstva i primenu u izradi MEMS naprava
Influence of the structure of multilayer thin Ni/Cu filmson their mechanical properties and MEMS devicesfabrication applications
Аутори: Mladenović, Ivana  ; Lamovec, Jelena  ; Jović, Vesna; Radojević, Vesna  
Година: 2015
Публикација: Зборник 59. конференције за електронику, телекомуникације, рачунарство, аутоматику и нуклеарну технику ЕТРАН 2015, Srebrno jezero
Издавач: Belgrade: ETRAN – Society for electronics, telecommunication, computing, automatics and nuclear engineering
Тип резултата: Конференцијски рад
ISBN: 978-86-80509-71-6 Претражи идентификатор
Колација: str. MO2.1.1-MO2.1.4
VBS COBISS 217144076
URI: http://TechnoRep.tmf.bg.ac.rs/handle/123456789/2871
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3829
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/182636
Пројекат: Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008)
М-категорија: 
Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI


Google ScholarTM

Creative Commons лиценца