Резултати
еНаука >
Резултати >
Uticaj strukture višeslojnih tankih filmova nikla i bakra na njihova mehanička svojstva i primenu u izradi MEMS naprava
| Naziv: | Uticaj strukture višeslojnih tankih filmova nikla i bakra na njihova mehanička svojstva i primenu u izradi MEMS naprava Influence of the structure of multilayer thin Ni/Cu filmson their mechanical properties and MEMS devicesfabrication applications |
Autori: | Mladenović, Ivana   ; Lamovec, Jelena ; Jović, Vesna; Radojević, Vesna |
Godina: | 2015 | Publikacija: | Зборник 59. конференције за електронику, телекомуникације, рачунарство, аутоматику и нуклеарну технику ЕТРАН 2015, Srebrno jezero | Izdavač: | Belgrade: ETRAN – Society for electronics, telecommunication, computing, automatics and nuclear engineering | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 978-86-80509-71-6  Pretraži identifikator |
Kolacija: | str. MO2.1.1-MO2.1.4 | VBS COBISS  : | 217144076 | URI: | http://TechnoRep.tmf.bg.ac.rs/handle/123456789/2871 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3829 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/182636 |
Projekat: | Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008) | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM