Results
eNauka >
Results >
Uticaj strukture višeslojnih tankih filmova nikla i bakra na njihova mehanička svojstva i primenu u izradi MEMS naprava
| Title: | Uticaj strukture višeslojnih tankih filmova nikla i bakra na njihova mehanička svojstva i primenu u izradi MEMS naprava Influence of the structure of multilayer thin Ni/Cu filmson their mechanical properties and MEMS devicesfabrication applications |
Authors: | Mladenović, Ivana   ; Lamovec, Jelena ; Jović, Vesna; Radojević, Vesna |
Issue Date: | 2015 | Publication: | Зборник 59. конференције за електронику, телекомуникације, рачунарство, аутоматику и нуклеарну технику ЕТРАН 2015, Srebrno jezero | Publisher: | Belgrade: ETRAN – Society for electronics, telecommunication, computing, automatics and nuclear engineering | Type: | Conference Paper | ISBN: | 978-86-80509-71-6  Search Idenfier |
Collation: | str. MO2.1.1-MO2.1.4 | VBS COBISS  : | 217144076 | URI: | http://TechnoRep.tmf.bg.ac.rs/handle/123456789/2871 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3829 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/182636 |
Project: | Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008) | M-category: | Mp. category will be shown later |
Google ScholarTM