Rezultati
| Назив: | Boron redistribution during SOI wafers thermal oxidation | Аутори: | Đurić, Zoran G.  ; Smiljanić, Milče  ; Radulović, Katarina ; Lazić, Žarko |
Година: | 2006 | Публикација: | 25th International Conference on Microelectronics, MIEL 2006 - Proceedings | ISSN: | 2159-1660  Претражи идентификатор |
Издавач: | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 333-336 | DOI: | 10.1109/ICMEL.2006.1650961 | WoS-ID: | 000238839700064 | Scopus-ID: | 2-s2.0-77956553625 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/245 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/202449 |
Пројекат: | TR6151 - Micro and Nanosystem Technologies, Structures and Sensors | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
4
SCOPUSTM
1
WEB OF SCIENCETM
Alt metrika
Dimensions
Unpaywall
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.