Резултати
| Назив: | Radical oxygen estimation and control in reactive ion etch plasma | Аутори: | Milosavljević, Vladimir   ; S. Daniels; A. Cowley; Y. Zhang; S. Kechkar; E. Gudimenko; B. Keville; J. Conway; M. M. Turner |
Година: | 2011 | Публикација: | The 4th Intel European Research & Innovation Conference, Leixlip, Ireland | Издавач: | INTEL, Irska | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 149-149 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/203084 | URL: | http://www.intel.com/corporate/education/emea/event/irc/ | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.