Rezultati

eNauka >  Rezultati >  Radical oxygen estimation and control in reactive ion etch plasma
Naziv: Radical oxygen estimation and control in reactive ion etch plasma
Autori: Milosavljević, Vladimir  ; S. Daniels; A. Cowley; Y. Zhang; S. Kechkar; E. Gudimenko; B. Keville; J. Conway; M. M. Turner
Godina: 2011
Publikacija: The 4th Intel European Research & Innovation Conference, Leixlip, Ireland
Izdavač: INTEL, Irska
Tip rezultata: Konferencijski rad
Kolacija: str. 149-149
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/203084
URL: http://www.intel.com/corporate/education/emea/event/irc/
Izvor metapodataka: Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija: 
Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI


Google ScholarTM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.