Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti

Jović, Vesna; Lamovec, Jelena; Tanasković, Dragan; Smiljanić, Milče; Vorkapić, Miloš; Popović, Bogdan; Mirjana Popović

Резултати

еНаука > Резултати > Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti

Назив:	Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti
Аутори:	Jović, Vesna ; Lamovec, Jelena ; Tanasković, Dragan ; Smiljanić, Milče ; Vorkapić, Miloš ; Popović, Bogdan ; Mirjana Popović
Година:	2010
Тип резултата:	Техничко решење
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/221843
Извор метаподатака:	Migrirano iz RIS podataka
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Google Scholar^TM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.