Results

eNauka >  Results >  Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti
Title: Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti
Authors: Jović, Vesna ; Lamovec, Jelena  ; Tanasković, Dragan  ; Smiljanić, Milče  ; Vorkapić, Miloš  ; Popović, Bogdan  ; Mirjana Popović
Issue Date: 2010
Type: Technical reports
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/221843
Metadata source: Migrirano iz RIS podataka
M-category: 
Mp. category will be shown later

Find the DOI

Google ScholarTM

Items in eNauka are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.