Results
eNauka >
Rezultati >
Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti
| Naziv: | Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti | Autori: | Jović, Vesna  ; Lamovec, Jelena  ; Tanasković, Dragan ; Smiljanić, Milče ; Vorkapić, Miloš ; Popović, Bogdan ; Mirjana Popović |
Godina: | 2010 | Tip rezultata: | Tehničko rešenje | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/221843 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Items in eNauka are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.