Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti

Jović, Vesna; Lamovec, Jelena; Tanasković, Dragan; Smiljanić, Milče; Vorkapić, Miloš; Popović, Bogdan; Mirjana Popović

Rezultati

eNauka > Rezultati > Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti

Naziv:	Realizacija dubokih otvora u monokristalnom Si sa ciljem inkapsulacije mikro-elektro-mehanickih (MEM) komponenti
Autori:	Jović, Vesna ; Lamovec, Jelena ; Tanasković, Dragan ; Smiljanić, Milče ; Vorkapić, Miloš ; Popović, Bogdan ; Mirjana Popović
Godina:	2010
Tip rezultata:	Tehničko rešenje
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/221843
Izvor metapodataka:	Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija:	Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Pronalaženje DOI u servisu CrossRef-u na osnovu meta-podataka u zapisu. Prikazaće se DOI (i metapodaci) čiji se podaci najviše poklapaju. OPREZ - to ne mora biti ta publikacija.

Google Scholar^TM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.