Резултати
| Назив: | Plasma damage of low-k dielectric materials | Аутори: | Milosavljević, Vladimir M.   ; E. Gudimenko; C. Hayden; S. Daniels |
Година: | 2010 | Публикација: | The 37th IOP Annual Conference on Plasma Physics | Издавач: | IOP, Windermere, UK | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 53-54 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/253421 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.