Резултати
еНаука >
Резултати >
Three-Dimensional Simulations of the Anisotropic Etching Profile Evolution for Producing Nanoscale Devices
| Назив: | Three-Dimensional Simulations of the Anisotropic Etching Profile Evolution for Producing Nanoscale Devices | Аутори: | Radjenović, B.; Radmilović-Rađenović, Marija   |
Година: | 2011 | Публикација: | Acta Physica Polonica A | ISSN: | 0587-4246 Acta Physica Polonica. Series A: General Physics, Physics of Condensed Matter, Optics and Quantum Electronics, Atomic and Molecular Physics, Applied Physics Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 119 br. 3 str. 447-450 | DOI: | 10.12693/aphyspola.119.447 | WoS-ID: | 000289498700028 | Scopus-ID: | 2-s2.0-79952164181 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/334810 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | 23M23 - Рад у међ. часопису |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.