Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Three-Dimensional Simulations of the Anisotropic Etching Profile Evolution for Producing Nanoscale Devices
Naziv: | Three-Dimensional Simulations of the Anisotropic Etching Profile Evolution for Producing Nanoscale Devices | Autori: | Radjenović, B.; Radmilović-Rađenović, Marija ![]() ![]() |
Godina: | 2011 | Publikacija: | Acta Physica Polonica A | ISSN: | 0587-4246![]() ![]() |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 119 br. 3 str. 447-450 | DOI: | 10.12693/aphyspola.119.447 | WoS-ID: | 000289498700028 | Scopus-ID: | 2-s2.0-79952164181 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/334810 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | 23M23 - Rad u međ. časopisu |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.