Резултати
еНаука >
Резултати >
A Simple Concave Corner Compensation of Etched Si(100) in 25 wt % TMAH Water Solution
| Назив: | A Simple Concave Corner Compensation of Etched Si(100) in 25 wt % TMAH Water Solution | Аутори: | Smiljanić, Milče M.   ; Lazić, Žarko ; Milinković, Evgenija ; Cvetanović, Katarina ; Rašljić Rafajilović, Milena |
Година: | 2021 | Публикација: | 32nd IEEE International Conference on Microelectronics, MIEL 2021 | ISSN: | 2159-1679  Претражи идентификатор |
Издавач: | Belgrade : Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-1-6654-4528-3 Претражи идентификатор |
Колација: | str. 193-196 | DOI: | 10.1109/MIEL52794.2021.9569186 | Scopus-ID: | 2-s2.0-85118439817 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/335825 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/4855 |
Пројекат: | Ministarstvo prosvete, nauke i tehnološkog razvoja Republike Srbije, Ugovor br. 200026 (Univerzitet u Beogradu, Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju - IHTM) (RS-200026) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.