Rezultati
eNauka >
Results >
A Simple Concave Corner Compensation of Etched Si(100) in 25 wt % TMAH Water Solution
| Naziv: | A Simple Concave Corner Compensation of Etched Si(100) in 25 wt % TMAH Water Solution | Autori: | Smiljanić, Milče M.   ; Lazić, Žarko ; Milinković, Evgenija ; Cvetanović, Katarina ; Rašljić Rafajilović, Milena |
Godina: | 2021 | Publikacija: | 32nd IEEE International Conference on Microelectronics, MIEL 2021 | ISSN: | 2159-1679  Pretraži identifikator |
Izdavač: | Belgrade : Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 978-1-6654-4528-3 Pretraži identifikator |
Kolacija: | str. 193-196 | DOI: | 10.1109/MIEL52794.2021.9569186 | WoS-ID: | 001686589600041 | Scopus-ID: | 2-s2.0-85118439817 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/335825 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/4855 |
Projekat: | Ministarstvo prosvete, nauke i tehnološkog razvoja Republike Srbije, Ugovor br. 200026 (Univerzitet u Beogradu, Institut za hemiju, tehnologiju i metalurgiju - IHTM) (RS-200026) | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.