Резултати
еНаука >
Резултати >
Development of Fast Neutral Etching for Integrated Circuits and Nanotechnologies Fast Neutrals in Gas
| Назив: | Development of Fast Neutral Etching for Integrated Circuits and Nanotechnologies Fast Neutrals in Gas | Аутори: | Petrović, Zoran   ; Stojanović, Vladimir ; Škoro, Nikola ; Nikitović, Željka ; Malović, Gordana ; Sivoš, Jelena ; Marić, Dragana |
Година: | 2014 | Публикација: | 29th International Conference on Microelectronics (MIEL) | ISSN: | 2159-1660  Претражи идентификатор |
Издавач: | IEEE CONFERENCE PUBLICATIONS, Belgrade, Serbia | Тип резултата: | Научни чланак | ISBN: | 978-1-4799-5296-0 Претражи идентификатор |
Колација: | str. 17-24 | DOI: | 10.1109/MIEL.2014.6842079 | WoS-ID: | 000360788600004 | Scopus-ID: | 2-s2.0-84904619242 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/337377 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.