Резултати
еНаука >
Резултати >
Characterization of hydrogen based RF plasmas suitable for removal of carbon layers
| Назив: | Characterization of hydrogen based RF plasmas suitable for removal of carbon layers | Аутори: | Škoro, Nikola   ; E. Gogolides |
Година: | 2012 | Публикација: | XXVI SPIG | Издавач: | Zrenjanin, Serbia | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-86-7031-242-5  Претражи идентификатор |
Колација: | str. 231-234 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/339471 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.