Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Characterization of hydrogen based RF plasmas suitable for removal of carbon layers
| Naziv: | Characterization of hydrogen based RF plasmas suitable for removal of carbon layers | Autori: | Škoro, Nikola   ; E. Gogolides |
Godina: | 2012 | Publikacija: | XXVI SPIG | Izdavač: | Zrenjanin, Serbia | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 978-86-7031-242-5  Pretraži identifikator |
Kolacija: | str. 231-234 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/339471 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.