Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Investigation of the effects of Ar plasma etching in Si surface by photoacoustic method
| Naziv: | Investigation of the effects of Ar plasma etching in Si surface by photoacoustic method | Autori: | Todorović, D. M.; Smiljanić, Miloljub; Sarajlić, Milija |
Godina: | 2005 | Publikacija: | Journal de Physique IV (Proceedings) | ISSN: | 1155-4339 Journal de Physique IV Pretraži identifikator |
Izdavač: | EDP Sciences | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | vol. 125 str. 451-453 | DOI: | 10.1051/jp4:2005125106 | WoS-ID: | 000230014700107 | Scopus-ID: | 2-s2.0-33645092960 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3080 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/352856 |
Izvor metapodataka: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.