Резултати
еНаука >
Резултати >
Investigation of the effects of Ar plasma etching in Si surface by photoacoustic method
| Назив: | Investigation of the effects of Ar plasma etching in Si surface by photoacoustic method | Аутори: | Todorović, D. M.; Smiljanić, Miloljub; Sarajlić, Milija |
Година: | 2005 | Публикација: | Journal de Physique IV (Proceedings) | ISSN: | 1155-4339 Journal de Physique IV Претражи идентификатор |
Издавач: | EDP Sciences | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | vol. 125 str. 451-453 | DOI: | 10.1051/jp4:2005125106 | WoS-ID: | 000230014700107 | Scopus-ID: | 2-s2.0-33645092960 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3080 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/352856 |
Извор метаподатака: | (Preuzeto iz Nasi u WoS) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.