Photoacoustic spectroscopy: investigation of sputter damage in Si surface by Ar plasma

Резултати

Назив:	Photoacoustic spectroscopy: investigation of sputter damage in Si surface by Ar plasma
Аутори:	Todorović, D. M.; Smiljanić, Miloljub ; Sarajlić, Milija ; Vasiljević-Radović, Dana ; Randjelović, Danijela
Година:	2004
Публикација:	Proceedings - 2004 24th International Conference on Microelectronics, MIEL 2004
ISSN:	2159-1660 Претражи идентификатор
Издавач:	Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Тип резултата:	Конференцијски рад
Колација:	vol. 2 str. 429-432
DOI:	10.1109/ICMEL.2004.1314853
WoS-ID:	000222219300086
Scopus-ID:	2-s2.0-3142750513
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/352862 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3088
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Алт метрика

Dimensions

Unpaywall

Google Scholar^TM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.