Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Photoacoustic spectroscopy: investigation of sputter damage in Si surface by Ar plasma
| Naziv: | Photoacoustic spectroscopy: investigation of sputter damage in Si surface by Ar plasma | Autori: | Todorović, D. M.; Smiljanić, Miloljub   ; Sarajlić, Milija ; Vasiljević-Radović, Dana ; Randjelović, Danijela |
Godina: | 2004 | Publikacija: | Proceedings - 2004 24th International Conference on Microelectronics, MIEL 2004 | ISSN: | 2159-1660  Pretraži identifikator |
Izdavač: | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | vol. 2 str. 429-432 | DOI: | 10.1109/ICMEL.2004.1314853 | WoS-ID: | 000222219300086 | Scopus-ID: | 2-s2.0-3142750513 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/352862 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3088 |
M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.