Rezultati
eNauka >
Results >
Collective fabrication of all-organic microcantilever chips based on a hierarchical combination of shadow-masking and wafer-bonding processing methods
| Naziv: | Collective fabrication of all-organic microcantilever chips based on a hierarchical combination of shadow-masking and wafer-bonding processing methods | Autori: | Dubourg, Georges |
Godina: | 2011 | Publikacija: | Journal of Micromechanics and Microengineering | ISSN: | 0960-1317 Journal of Micromechanics and Microengineering Pretraži identifikator |
Izdavač: | Institute of Physics Publishing | Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 21 br. 9 str. 095021-095021 | DOI: | 10.1088/0960-1317/21/9/095021 | WoS-ID: | 000294774900021 | Scopus-ID: | 2-s2.0-80052243989 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/359618 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | 21aM21a - Vodeći međunarodni časopis kategorije M21a |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.