Резултати
еНаука >
Резултати >
Collective fabrication of all-organic microcantilever chips based on a hierarchical combination of shadow-masking and wafer-bonding processing methods
| Назив: | Collective fabrication of all-organic microcantilever chips based on a hierarchical combination of shadow-masking and wafer-bonding processing methods | Аутори: | Dubourg, Georges   ; Fadel-Taris, Ludivine; Dufour, Isabelle; Pellet, Claude; Ayela, Cédric |
Година: | 2011 | Публикација: | Journal of Micromechanics and Microengineering | ISSN: | 0960-1317 Journal of Micromechanics and Microengineering Претражи идентификатор |
Издавач: | Institute of Physics Publishing | Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 21 br. 9 str. 095021-095021 | DOI: | 10.1088/0960-1317/21/9/095021 | WoS-ID: | 000294774900021 | Scopus-ID: | 2-s2.0-80052243989 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/359618 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | 21aM21a - Водећи међународни часопис категорије M21a |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.