Резултати
еНаука >
Резултати >
Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges: effect of low-frequency power on electron density and ion flux
| Назив: | Dual-frequency capacitive radiofrequency discharges: effect of low-frequency power on electron density and ion flux | Аутори: | Booth, J P; Curley, G; Marić, Dragana |
Година: | 2009 | Публикација: | Plasma Sources Science and Technology | ISSN: | 0963-0252 Plasma Sources Science and Technology Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 19 br. 1 str. 015005-015005 | DOI: | 10.1088/0963-0252/19/1/015005 | WoS-ID: | 000273895300005 | Scopus-ID: | 2-s2.0-70450208772 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/359620 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | 21M21 - Водећи међународни часопис категорије M21 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.