Резултати
еНаука >
Резултати >
3D Etching profile evolution simulations: Time dependence analysis of the profile charging during SiO2 etching in plasma
| Назив: | 3D Etching profile evolution simulations: Time dependence analysis of the profile charging during SiO2 etching in plasma | Аутори: | Radjenovic, Branislav   ; Radmilovic-Radjenovic, Marija |
Година: | 2007 | Публикација: | Journal of Physics: Conference Series | ISSN: | 1742-6588  Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | vol. 86 str. 012017-012017 | DOI: | 10.1088/1742-6596/86/1/012017 | WoS-ID: | 000256282900017 | Scopus-ID: | 2-s2.0-36349033424 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/361474 https://vinar.vin.bg.ac.rs/handle/123456789/6757 |
Пројекат: | TESLA, Ministry of Science and Environmental Protection | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.