Резултати
еНаука >
Резултати >
Mask-maskless etching behaviour of convex corners at the ridges oriented in <110> direction on {100} Si
| Назив: | Mask-maskless etching behaviour of convex corners at the ridges oriented in <110> direction on {100} Si | Аутори: | Jović, Vesna  ; Smiljanić, Milče  ; Lamovec, Jelena ; Mirjana Popović |
Година: | 2010 | Публикација: | Proc. of 2nd ReCIMICo(Reinforcement of the Centre for Integrated Microsystems and Components) Workshop on New Trends in Integrated Microsystems and Components | Издавач: | University of Novi Sad, Faculty of Technical Science, Srbija | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 978-86-7892-287-9  Претражи идентификатор |
Колација: | str. 3-9 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/367273 | URL: | http://www.cimc.rs/index.php/3-news/news/84-second-recimico-workshop40 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.