Rezultati

eNauka >  Rezultati >  Mask-maskless etching behaviour of convex corners at the ridges oriented in <110> direction on {100} Si
Naziv: Mask-maskless etching behaviour of convex corners at the ridges oriented in <110> direction on {100} Si
Autori: Jović, Vesna ; Smiljanić, Milče  ; Lamovec, Jelena  ; Mirjana Popović
Godina: 2010
Publikacija: Proc. of 2nd ReCIMICo(Reinforcement of the Centre for Integrated Microsystems and Components) Workshop on New Trends in Integrated Microsystems and Components
Izdavač: University of Novi Sad, Faculty of Technical Science, Srbija
Tip rezultata: Konferencijski rad
ISBN: 978-86-7892-287-9 Pretraži identifikator
Kolacija: str. 3-9
URI: https://enauka.gov.rs/handle/123456789/367273
URL: http://www.cimc.rs/index.php/3-news/news/84-second-recimico-workshop40
Izvor metapodataka: Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija: 
Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Google ScholarTM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.