Резултати
еНаука >
Резултати >
The surface charging effects in three-dimensional simulation of the profiles of plasma-etched nanostructures
| Назив: | The surface charging effects in three-dimensional simulation of the profiles of plasma-etched nanostructures | Аутори: | Radmilović-Rađenović, Marija |
Година: | 2011 | Публикација: | International Journal of Numerical Modelling: Electronic Networks, Devices and Fields | ISSN: | 0894-3370 International Journal of Numerical Modelling: Electronic Networks, Devices and Fields Претражи идентификатор |
Тип резултата: | Научни чланак | Колација: | vol. 24 br. 6 str. 535-544 | DOI: | 10.1002/jnm.798 | WoS-ID: | 000296239400004 | Scopus-ID: | 2-s2.0-80054816238 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/387710 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | 22M22 - Међународни часопис категорије M22 |
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.