Rezultati
eNauka >
Rezultati >
The surface charging effects in three-dimensional simulation of the profiles of plasma-etched nanostructures
| Naziv: | The surface charging effects in three-dimensional simulation of the profiles of plasma-etched nanostructures | Autori: | Radmilović-Rađenović, Marija |
Godina: | 2011 | Publikacija: | International Journal of Numerical Modelling: Electronic Networks, Devices and Fields | ISSN: | 0894-3370 International Journal of Numerical Modelling: Electronic Networks, Devices and Fields Pretraži identifikator |
Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 24 br. 6 str. 535-544 | DOI: | 10.1002/jnm.798 | WoS-ID: | 000296239400004 | Scopus-ID: | 2-s2.0-80054816238 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/387710 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | 22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22 |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.