Probe diagnostics of a large scale asymmetric capacitively coupled plasma plasma reactor

Lazović, Saša; Malović, Gordana; Petrović, Zoran; Puač, Nevena; Spasić, Kosta; Uroš Cvelbar; Miran Mozetič

Резултати

еНаука > Резултати > Probe diagnostics of a large scale asymmetric capacitively coupled plasma plasma reactor

Назив:	Probe diagnostics of a large scale asymmetric capacitively coupled plasma plasma reactor
Аутори:	Lazović, Saša ; Malović, Gordana ; Petrović, Zoran ; Puač, Nevena ; Spasić, Kosta ; Uroš Cvelbar; Miran Mozetič
Година:	2011
Публикација:	18th Inernational scientific meeting on vacuum science and techniques
Издавач:	Slovenia
Тип резултата:	Конференцијски рад
Колација:	str. 52-52
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/463086
Извор метаподатака:	Migrirano iz RIS podataka
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Google Scholar^TM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.