Probe diagnostics of a large scale asymmetric capacitively coupled plasma plasma reactor

Lazović, Saša; Malović, Gordana; Petrović, Zoran; Puač, Nevena; Spasić, Kosta; Uroš Cvelbar; Miran Mozetič

Rezultati

eNauka > Rezultati > Probe diagnostics of a large scale asymmetric capacitively coupled plasma plasma reactor

Naziv:	Probe diagnostics of a large scale asymmetric capacitively coupled plasma plasma reactor
Autori:	Lazović, Saša ; Malović, Gordana ; Petrović, Zoran ; Puač, Nevena ; Spasić, Kosta ; Uroš Cvelbar; Miran Mozetič
Godina:	2011
Publikacija:	18th Inernational scientific meeting on vacuum science and techniques
Izdavač:	Slovenia
Tip rezultata:	Konferencijski rad
Kolacija:	str. 52-52
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/463086
Izvor metapodataka:	Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija:	Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Pronalaženje DOI u servisu CrossRef-u na osnovu meta-podataka u zapisu. Prikazaće se DOI (i metapodaci) čiji se podaci najviše poklapaju. OPREZ - to ne mora biti ta publikacija.

Google Scholar^TM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.