Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Characterization of atomic oxygen emission by PROES and Ion-flux measurement in an ECR plasma etcher
| Naziv: | Characterization of atomic oxygen emission by PROES and Ion-flux measurement in an ECR plasma etcher | Autori: | Milosavljević, Vladimir   ; B. Dolinaj; D. Gahan; N. Macgarailt; M. B. Hopkins; S. Daniels |
Godina: | 2011 | Publikacija: | The AVS 58th International Symposium and Exhibition, Nashville, Tennessee, USA | Izdavač: | AVS, SAD | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | str. PS-ThA1.87-PS-ThA1.87 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/463093 | URL: | http://www2.avs.org/symposium/AVS58/pages/greetings.html | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.