Резултати
еНаука >
Резултати >
Characterization of atomic oxygen emission by PROES and Ion-flux measurement in an ECR plasma etcher
| Назив: | Characterization of atomic oxygen emission by PROES and Ion-flux measurement in an ECR plasma etcher | Аутори: | Milosavljević, Vladimir   ; B. Dolinaj; D. Gahan; N. Macgarailt; M. B. Hopkins; S. Daniels |
Година: | 2011 | Публикација: | The AVS 58th International Symposium and Exhibition, Nashville, Tennessee, USA | Издавач: | AVS, SAD | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. PS-ThA1.87-PS-ThA1.87 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/463093 | URL: | http://www2.avs.org/symposium/AVS58/pages/greetings.html | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.