Резултати
| Назив: | Comprehensive plasma diagnostics for an ECR etcher | Аутори: | Milosavljević, Vladimir   |
Година: | 2012 | Публикација: | 26th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases | ISSN: | 0094-243X AIP Conference Proceedings Претражи идентификатор |
Издавач: | AIP, Melville, New York, Srbija | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | vol. 385 str. 340-352 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/477722 | Извор метаподатака: | Migrirano iz RIS podataka | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.