Rezultati
| Naziv: | Comprehensive plasma diagnostics for an ECR etcher | Autori: | Milosavljević, Vladimir   |
Godina: | 2012 | Publikacija: | 26th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases | ISSN: | 0094-243X AIP Conference Proceedings Pretraži identifikator |
Izdavač: | AIP, Melville, New York, Srbija | Tip rezultata: | Konferencijski rad | Kolacija: | vol. 385 str. 340-352 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/477722 | Izvor metapodataka: | Migrirano iz RIS podataka | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.