Резултати
еНаука >
Резултати >
Prevention of Convex Corner Undercutting in Fabrication of Silicon Microcantilevers by Wet Anisotropic Etching
| Назив: | Prevention of Convex Corner Undercutting in Fabrication of Silicon Microcantilevers by Wet Anisotropic Etching | Аутори: | Jović, Vesna  ; Lamovec, Jelena  ; Mladenović, Ivana ; Smiljanić, Milče ; Popović, Bogdan |
Година: | 2014 | Публикација: | Proceedings of the International Conference on Microelectronics, ICM | ISSN: | 2159-1660  Претражи идентификатор |
Издавач: | Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. | Тип резултата: | Конференцијски рад | Колација: | str. 163-166 | DOI: | 10.1109/MIEL.2014.6842111 | WoS-ID: | 000360788600031 | Scopus-ID: | 2-s2.0-84904704435 | URI: | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/1451 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/480289 |
Пројекат: | Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-32008) | М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
1
SCOPUSTM
Алт метрика
Dimensions
Unpaywall
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.