Characterization of a large scale RF CCP reactor using Langmuir and derivative probes

Lazović, Saša; Malović, Gordana; Petrović, Zoran; Puač, Nevena; Spasić, Kosta

Резултати

еНаука > Резултати > Characterization of a large scale RF CCP reactor using Langmuir and derivative probes

Назив:	Characterization of a large scale RF CCP reactor using Langmuir and derivative probes
Аутори:	Lazović, Saša ; Malović, Gordana ; Petrović, Zoran ; Puač, Nevena ; Spasić, Kosta
Година:	2011
Публикација:	The 20th International Symposium on Plasma Chemistry
Издавач:	USA
Тип резултата:	Конференцијски рад
Колација:	str. SOU09-1-SOU09-4
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/525053
Извор метаподатака:	Migrirano iz RIS podataka
М-категорија:	Мп категорија ће бити приказана накнадно.

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Google Scholar^TM

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.