Characterization of a large scale RF CCP reactor using Langmuir and derivative probes

Lazović, Saša; Malović, Gordana; Petrović, Zoran; Puač, Nevena; Spasić, Kosta

Rezultati

eNauka > Rezultati > Characterization of a large scale RF CCP reactor using Langmuir and derivative probes

Naziv:	Characterization of a large scale RF CCP reactor using Langmuir and derivative probes
Autori:	Lazović, Saša ; Malović, Gordana ; Petrović, Zoran ; Puač, Nevena ; Spasić, Kosta
Godina:	2011
Publikacija:	The 20th International Symposium on Plasma Chemistry
Izdavač:	USA
Tip rezultata:	Konferencijski rad
Kolacija:	str. SOU09-1-SOU09-4
URI:	https://enauka.gov.rs/handle/123456789/525053
Izvor metapodataka:	Migrirano iz RIS podataka
M-kategorija:	Mp kategorija će biti prikazana naknadno.

Pronađi DOI

Pronalaženje DOI u servisu CrossRef-u na osnovu meta-podataka u zapisu. Prikazaće se DOI (i metapodaci) čiji se podaci najviše poklapaju. OPREZ - to ne mora biti ta publikacija.

Google Scholar^TM

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.