Results
eNauka >
Results >
Brzine nagrizanja kristalografskih ravni silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %

Title: | Brzine nagrizanja kristalografskih ravni silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % Etch rates of Si crystallographic planes in a 25 wt % TMAH water solution |
Authors: | Smiljanić, Milče ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
Issue Date: | 2013 | Publication: | Zbornik 57. konferencije ETRAN, 3-6. juna 2013, Zlatibor / Proceedings of 57th ETRAN Conference, June 3-6, 2013, Zlatibor, Serbia | Publisher: | Belgrade : ETRAN Society | Type: | Conference Paper | ISBN: | 978-86-80509-68-6![]() ![]() |
Collation: | str. MO1.1.1-MO1.1.4 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/564976 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5800 |
Project: | Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине | Metadata source: | Migracija | M-category: | Mp. category will be shown later |