Results
eNauka >
Rezultati >
Brzine nagrizanja kristalografskih ravni silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %
| Naziv: | Brzine nagrizanja kristalografskih ravni silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % Etch rates of Si crystallographic planes in a 25 wt % TMAH water solution |
Autori: | Smiljanić, Milče   ; Lazić, Žarko ; Jović, Vesna ; Rašljić, Milena |
Godina: | 2013 | Publikacija: | Zbornik 57. konferencije ETRAN, 3-6. juna 2013, Zlatibor / Proceedings of 57th ETRAN Conference, June 3-6, 2013, Zlatibor, Serbia | Izdavač: | Belgrade : ETRAN Society | Tip rezultata: | Konferencijski rad | ISBN: | 978-86-80509-68-6  Pretraži identifikator |
Kolacija: | str. MO1.1.1-MO1.1.4 | URI: | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/564976 https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5800 |
Projekat: | Микро, нано-системи и сензори за примену у електропривреди, процесној индустрији и заштити животне средине | Izvor metapodataka: | Migracija | M-kategorija: | Mp kategorija će biti prikazana naknadno. |
Google ScholarTM