Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies

Petrović, Z. Lj.; Raspopović, Zoran M.; Stojanović, Vladimir D.; Jovanović, Jasmina; Malović, G.; Makabe, T.; de Urquijo, J.

Резултати

еНаука > Резултати > Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies

Назив:	Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies
Аутори:	Petrović, Z. Lj.; Raspopović, Zoran M. ; Stojanović, Vladimir D.; Jovanović, Jasmina ; Malović, G. ; Makabe, T.; de Urquijo, J.
Година:	2007
Публикација:	Applied Surface Science
ISSN:	0169-4332 Applied Surface Science Претражи идентификатор
Издавач:	Elsevier, Amsterdam
Тип резултата:	Научни чланак
Колација:	vol. 253 br. 16 str. 6619-6640
DOI:	10.1016/j.apsusc.2007.02.005
WoS-ID:	000247156100002
Scopus-ID:	2-s2.0-34248661268
URI:	https://machinery.mas.bg.ac.rs/handle/123456789/731 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/567908
Пројекат:	Физичке основе примене неравнотежних плазми у нанотехнологијама и третману материјала
М-категорија:	22M22 - Рад у истакнутом међ. часопису

57
SCOPUS^TM

53
OpenCitations

55
WEB OF SCIENCE^TM

Алт метрика

Dimensions

Пронађи DOI

Проналажење DOI у сервису CrossRef-у на основу мета-података у запису. Приказаће се DOI (и метаподаци) чији се подаци највише поклапају. ОПРЕЗ - то не мора бити та публикација.

Unpaywall

Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.