Rezultati

eNauka >  Rezultati >  Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies
Naziv: Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies
Autori: Petrović, Z. Lj.  ; Raspopović, Zoran M.  ; Stojanović, Vladimir D.; Jovanović, Jasmina  ; Malović, G.  ; Makabe, T.; de Urquijo, J.
Godina: 2007
Publikacija: Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332 Applied Surface Science Pretraži identifikator
Izdavač: Elsevier, Amsterdam
Tip rezultata: Naučni članak
Kolacija: vol. 253 br. 16 str. 6619-6640
DOI: 10.1016/j.apsusc.2007.02.005
WoS-ID: 000247156100002
Scopus-ID: 2-s2.0-34248661268
URI: https://machinery.mas.bg.ac.rs/handle/123456789/731
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/567908
Projekat: Физичке основе примене неравнотежних плазми у нанотехнологијама и третману материјала
M-kategorija: 
22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22

61
SCOPUSTM
53
OpenCitations
58
WEB OF SCIENCETM
Alt metrika
Dimensions
Unpaywall

Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.