Rezultati
eNauka >
Rezultati >
Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies
| Naziv: | Data and modeling of negative ion transport in gases of interest for production of integrated circuits and nanotechnologies | Autori: | Petrović, Z. Lj. |
Godina: | 2007 | Publikacija: | Applied Surface Science | ISSN: | 0169-4332 Applied Surface Science Pretraži identifikator |
Izdavač: | Elsevier, Amsterdam | Tip rezultata: | Naučni članak | Kolacija: | vol. 253 br. 16 str. 6619-6640 | DOI: | 10.1016/j.apsusc.2007.02.005 | WoS-ID: | 000247156100002 | Scopus-ID: | 2-s2.0-34248661268 | URI: | https://machinery.mas.bg.ac.rs/handle/123456789/731 https://enauka.gov.rs/handle/123456789/567908 |
Projekat: | Физичке основе примене неравнотежних плазми у нанотехнологијама и третману материјала | M-kategorija: | 22M22 - Međunarodni časopis kategorije M22 |
Rezultati na eNauka su zaštićeni autorskim pravima i sva prava su zadržana, osim ako nije drugačije naznačeno.